PLHS系列无油超高真空机组

PLHS系列无油超高真空机组主要由主抽泵（复合分子泵）、前级泵（无油涡旋真空泵）、控制阀门、电控系统、真空管路等组装于机架上而成的清洁无油超高真空获得设备。